研究人员极大地提高了薄膜晶体管(TFT)阵列检测技术(栅极调制成像技术)的灵敏度和检测面积,并实现了存储电容器的检测。
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| 在 TFT 缺陷检测模式下测量的光学显微照片和栅极调制图像(左)以及在电容器缺陷检测模式下测量的光学显微照片和栅极调制图像(右) |
开发显示器的全印刷制造技术是一个重要的挑战。然而,用于控制像素的驱动电路由大量的TFT和存储电容组成,因此很难在短时间内进行无损检测,这阻碍了生产效率和质量的兼顾。 AIST开发了一种独特的栅极调制成像技术,可以根据栅极电压可视化TFT光透射率和反射率的微小变化并检查驱动电路。 2014年,1毫米见方的检查时间约为10分钟。
为了增加栅极调制成像技术的灵敏度和检查面积,研究人员结合了每秒约1GB速度运行的图像处理单元、约415兆像素的CMOS相机、高亮度LED灯和宽视场光学器件。这极大地将检查时间缩短至 3 分钟以内,并将面积扩大至 3 厘米见方。当像素密度为每英寸 150 个时,这相当于大约 30,000 个 TFT。利用与绝缘不良的电容器放置在同一像素中的 TFT 光学图像的变化,研究人员还可以立即检查存储电容器。
研究人员将致力于商业化研究,以便在显示器和电子纸的印刷生产线中使用这种门调制成像技术来实现无损在线检测技术。