研究人员开发了一种静电扫描系统，可以以1毫米的空间分辨率测量表面电位分布。该系统由高速信号处理装置和小型高性能电容式阵列传感器组成。

静电扫描仪示意图

研究人员开发了一种线性阵列传感器，由 30 个以 1 毫米间隔放置的平行微型传感器组成。通过使用光刻技术制造微型传感器和其他部件，使传感器小型化。他们还开发了一种高速信号处理设备。利用所开发的可测量微弱信号的阵列传感器和高速处理设备，开发了一种以15毫米/秒的速度高速扫描物体表面并能够以1毫米的空间分辨率可视化表面电位分布的系统。

使用各种传感器实现流程自动化的智能制造已得到促进。然而，产品中使用的绝缘材料容易带静电，材料表面静电分布不均匀是阻碍生产的因素。设备或产品内部存在并不总是固定的电荷分布，可能会因放电而导致电路断路，或因灰尘等微小物体的附着而导致品质劣化。尽管进行了中和，但其是完全进行的并且效果常常不清楚。因此，需要一种能够高速扫描大面积并检测微小缺陷的静电分布测量装置。

根据公司的要求、委托等，研究人员开始进行测试，测量和评估玻璃、印刷电路板、薄膜、树脂和陶瓷等各种物体上的静电分布。此外，他们还将开发一种速度更快、空间分辨率更高、可以测量大面积的静电扫描仪，并计划在几年内投入实际使用。