研究人员开发了一种名为“Lift-On Offset Printing”的印刷技术,可以在短时间内以低成本制造悬浮微结构,例如悬臂梁和桥梁。
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| 悬臂梁和其他微结构的照片以及悬臂梁制造过程的示意图 |
研究人员开发了一种制造悬浮微结构的工艺,其中通过使用胶印工艺在临时基材上构建微结构。然后通过降低其粘合力将其与临时基材分离,并将微结构粘合到新基材上。该工艺允许在大气压下制造微结构,并将制造时间减少到半导体制造工艺的五分之一。
具有悬挂结构并利用结构位移(例如偏转)的悬臂等传感器可用于智能手机中的位置检测,并且可用于各种其他应用,包括检测物理量(例如压力和加速度)以及化学物质的吸附。可以通过改变悬挂结构的宽度、厚度或材料来调整偏转量,从而实现广泛的灵敏度。目前所使用的半导体制造工艺存在问题:步骤较多,产生大量废料;还需要高精度、耐用的基板,难以实现高效、低成本生产。
通过允许使用多种材料,传感器的性能和种类将会增加。印刷面积将增加,并建立批量生产流程。这项技术将被转让给私营公司,以帮助实现一个安全可靠的社会。