在AIST，为了广泛传播我们多年来积累的技术和成果，我们将广泛领域的研究设备作为可用设备提供给公众。
研究设备使用合同具有以下特点。
- 由于基于条款及条件的使用合同合同程序明确。
- 作为一般规则，产生知识产权它属于用户。
- 我们在条款及条件中明确规定了管理机密信息的规则。
- 每小时价格（张数）已在单价表中公布这样可以更轻松地预测成本。
使用注意事项（规定以及条款和条件）
在AIST，您可以根据以下“米乐m6官方网站研究设施等的使用和借用规定”和“共用设施等的使用条款和条件”使用各共享设施管理的研究设备。
此外，如果您使用先进纳米测量设施 (ANCF) 和纳米处理设施 (NPF)，并注册基于文部科学省项目材料高级研究基础设施的共享设施获得的数据，则以下“材料高级研究基础设施数据登记条款和条件”将适用。
公共共享设施和研究设备
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纳米加工设施 (NPF)
我们拥有使用电子束的微结构绘制设备，扫描电子显微镜和扫描探针显微镜等测量设备，以及纳米器件和材料的电子和光学功能评估设备，我们每天坚持不懈地推进从尖端材料和器件的微细加工到功能验证的一切，以快速实现原创想法。
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超洁净室产学官协同研究大楼（SCR）
我们拥有3000平方米的三级洁净室，配备300毫米晶圆的半导体加工设备。您可以使用现有的流程菜单、单独流程和单一处理来进行研究和开发。
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先进纳米计量设施 (ANCF)
我们正在开发克服现有测量设备局限性的下一代测量设备，开发下一代测量方法以及分析软件和数据库等知识的系统化。此外，我们还广泛公开这些尖端测量仪器和技术，并通过 ISO-IEC 标准化提高可用性，从而促进纳米技术和其他领域的创新。
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超导量子电路原型设施 (Qufab)
该设施用于制作超导量子计算机、超导量子退火机和用于控制量子位的超导电路的原型。
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先进的生物仪器设施 (BIO)
我们提供用于分析糖链和植物转录因子的尖端设备，并支持各种生物样品的分析。
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MEMS研发中心（MEMS）
我们拥有 200/300 毫米（8/12 英寸）晶圆的 MEMS 工艺线、集成和评估设备，并提供 MEMS 代工服务。
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未探索的设备原型公共线（COLOMODE）
用于研究和开发下一代半导体电子器件原型的洁净室。其功能集中于使用 4 英寸晶圆实施硅半导体器件工艺。
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AI芯片设计中心（AIDC）
您可以使用设计环境来设计半导体芯片。该中心的设计环境配置在云端，用户可以远程访问。使用专门从事半导体设计的系统，我们可以设计各种模拟和数字半导体芯片。此外，您还可以使用大规模逻辑仿真器和AIDC开发的AI加速器SoC评估平台进行设计验证。
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创意最小工厂 (CMF)
使用AIST独特的局部清洁技术开发和实现的一组最小晶圆厂设备、分析和评估设备等将从2024年1月起在AIST Waterfront City Center展出。配备半英寸晶圆（直径125毫米）半导体制造工艺所需的设备，可供广泛的人员用于各种工艺的实践培训和人力资源开发，以及用于图案尺寸器件的原型制作1μm以上。
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脑成像设施 (BIT)
我们使用静态磁场强度为3T（特斯拉）的磁共振成像（MRI）设备来捕获人类和其他生物体的断层结构图像、功能性脑图像（fMRI）、扩散张量图像等。它配备有用于测量大脑功能的各种刺激呈现和反应收集系统等外围设备。
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电感耦合等离子体质谱仪（单四极杆）
电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）是一种使用电感耦合等离子体（ICP）作为电离源的质谱分析方法，一般使用氩气的ICP作为电离源。测量时，使用雾化器将溶液样品雾化并引入ICP，然后使用质谱仪分离和检测样品中的离子化元素。可以进行高灵敏度和低背景测量，从而可以检测 ppt 水平。
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分析设施
我们接受使用兼容低加速电压的高分辨率透射电子显微镜进行分析的请求，用于观察软物质，该显微镜能够可视化每个原子并执行光谱分析（EDS、EELS）。我们可以利用理论计算提供纳米级元素图创建、化学键态分析和电子态分析等高级支持。提前技术咨询是免费的。此外，还可以亲眼目睹实际分析，请求者可以在现场接受操作人员建议的同时获得所需的分析数据。
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小型电波暗室（SAC）
小型电波暗室，可测量 30MHz 至 6GHz 的频率。室内空间为215m宽×37m深×2m高，假设可以使用手持式频谱分析仪和笔记本式频谱分析仪任意测量待测物体的周围环境。此外，还安装了转盘和天线杆，可以在外部自动控制下使用EMI接收器（类似于CISPR11，距离被测物体约1至2米）进行测量。提前技术咨询是免费的。我们将在首次使用该设施时解释如何使用该设施，但之后我们将不再提供技术帮助。
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94T小动物磁共振成像仪
我们使用静态磁场强度为94 T（特斯拉）的磁共振成像（MRI）设备来捕获小动物的断层结构图像、功能性脑图像（fMRI）、扩散张量图像等。配备用于大鼠和小鼠的 MRI 线圈以及用于小鼠的冷冻探针。它还配备了麻醉、保温和生命体征测量（呼吸和心率），用于体内测量。
使用流程
联系信息
研究环境发展总部规划部规划办公室
茨城县筑波市东 1 丁目 1-1 中央办公室第 1 组，邮编 305-8561
电子邮件：M-facil_kyoyo-form-ml*aistgojp（发送前请将 * 更改为 @。）