如何使用超级洁净室 (SCR)

规则、条款和条件以及价目表

在 AIST，您可以根据以下《米乐m6官方网站共用设施等使用规定》和《共用设施等使用条款》使用我们的共用设施。
注意：申请前请阅读并同意条款及条件。

• 关于产业技术综合研究所研究设施等的使用和出借的规定[PDF：131KB]
• 米乐m6官方网站公共设施使用条款和条件[PDF：233 KB]
  *自2024年11月1日起，对公共设施使用条款等进行了部分修改（修改了第9条。对重复事项的汇总等其他细微之处进行了修改。）

• SCR单价表[PDF 格式：98KB]（2024 年 12 月 1 日修订）

共享设施的使用流程

STEP1 事先咨询

在提交申请之前，请联系 SCR 管理员（见下文），讨论该设施在技术上和时间安排上是否能够满足您的目的。

设施经理：先进半导体研究中心
查询表：打开表单

第2步非正式接受通知

如果该设施在技术上和时间表上均符合要求，设施经理将通知您接受。我们还将为每个用户颁发一个加密密码。

注意：“非官方同意”是指通知我们该网站在技术上和时间安排上是可以接受的。请注意，这与同意使用我们的服务的程序不同。

第3步提交申请表

请根据非正式协议的内容在线提交申请。我们将在收到非正式录取通知时告知您申请方法等。

STEP4 申请内容审查

我们将根据本条款及条件第 3 条第 2 款中的项目审核您的申请。
原则上我们会在 10 个工作日内回复。

第 5 步答案

审核完成后，我们将向您发送书面回复。
收到您的申请后，您就可以使用该设施，因此请稍等片刻。
*如果不符合条款及条件第 3 条第 2 款，我们可能无法接受您的申请。注意。

联系我们

请随时联系日月光研究中心（在下面的“联系信息”中列出），了解有关共享设施使用系统的详细信息。