2016/02/18
联合研究伙伴科技有限公司荣获2015年度“新机械推广奖、中小企业代理专员奖”
日本科学技术协会工程测量标准研究部共同研究的结果,技术有限公司荣获2015年度新机械推进奖、中小企业厅长官奖。新机械振兴奖的目的是通过表彰那些通过卓越的研发和成果的实际应用,对机械技术的进步和发展做出重大贡献的企业、大学、研究机构和研发人员,为日本机械工业的提升做出贡献,以进一步推动日本机械工业的技术发展。
获得该奖项的理由如下。
我们致力于开发一种超高精度玻璃基板,该基板将成为近年来需求迅速增长的高精度光学元件生产的标准,并实现了在 Φ100 mm 的 90% 范围内表面精度达到 λ/100(凹凸差为 63 nm 以下)的参考玻璃基板。除了设计进行纳米级校正抛光的特殊抛光方法、干涉仪的框架材料以及将抛光后的玻璃基板固定在框架中的方法之外,我们还与独立行政法人产业技术综合研究所进行了共同研究,以评估λ/100的精度,从而在可在制造现场使用的状态下实现了上述表面精度。目前,市场上最高精度的平面度标准为λ/40(凹凸部分的差异为158 nm或更小),而本研究开发的平面度标准的精度大大超过了该标准。
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工程测量标准研究部部长高辻俊之(中)出席颁奖典礼 由Technical Co, Ltd总裁兼代表董事Kazuhide Yamauchi(右)和技术销售办公室的Makoto Shinbo先生(左)颁发 |
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