先进制造工艺研究部首席研究员朱户淳于2014年7月16日荣获井上春重奖委员会(日本科学技术振兴机构)颁发的第39届井上春重奖。
井上春成奖每年颁发给两家公司,奖励来自大学、研究机构等的原创研究成果并已商业化(有销售业绩的公司)。这次的获奖技术是“利用室温冲击凝固现象的气溶胶沉积技术的实际应用”,我与进行商业化开发的TOTO精细陶瓷株式会社社长兼首席执行官佐伯义光一起获奖。
明户先生建立了气溶胶沉积法的基本技术,随后阐明了成膜机理,并了解了最佳原料颗粒特性条件。此外,我们还与TOTO精细陶瓷株式会社(TOTO)合作开发半导体制造设备结构部件的涂层技术,并建立了使用高速涂层设备的600mm见方大面积的量产技术。 TOTO自2008年起开始商业化耐等离子体腐蚀材料,目前拥有全球50%的新材料份额,为半导体器件的高度集成做出了贡献。